特征X射線及其衍射X射線是一種波長（0.06-20nm）很短的電磁波，能穿透一定厚度的物質，并能使熒光物質發光、照相機乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產生X射線，它具有靶中元素相對應的特定波長，稱為特征X射線。如銅靶對應的X射線波長為0.154056nm。

　　X射線衍射儀的英文名稱是X-rayPowderdiffractometer簡寫為XPD或XRD。有時會把它叫做x射線多晶體衍射儀，英文名稱為X-raypolycrystallinediffractometer簡寫仍為XPD或XRD。

　　X射線衍射儀的保養：

　　1.確保儀器無塵、恒溫、防潮、防震、防腐蝕的工作環境。

　　2.測試完后回收樣品，需要用無水乙醇清潔樣品架，樣品臺應定期使用吸耳球清潔干凈。

　　3.定期對高壓發生器進行除塵，一年進行一到兩次的*除塵工作，拆開下機柜外蓋，清理掉機柜內部包括電源、電路板等各個部件的灰塵，以免因灰塵引發各種電路或信號故障。

　　4.風機長期在室外運行，散熱片之間容易積累灰塵形成結垢，會造成水冷機室外機過熱保護，應根據情況及時。

　　5.X射線光管內的冷卻水管道較細，光管使用時間較久后管道內可能結垢，使循環冷卻水流量減小，所以循環冷卻水要求為蒸餾水。

　　6.計算機工作站一般不需要關機，工作站工作時要確保良好的工作環境，散熱要良好，否則容易造成硬盤損壞。

　　7.當超過一小時不用儀器時，將X光管設定至待機狀態；當超過兩星期不用儀器時，將X光管高壓關閉；當超過十星期不用儀器時，將X光管拆下。

　　8.對新的X光管、超過100小時未曾使用和曾經從儀器上拆下的X光管，必須進行正常老化。對超過24小時但小于100小時未曾使用的X光管進行自動快速老化。