X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質、礦物、石油、化工、生物、醫療、刑偵、考古等諸多部門和領域，也是野外現場分析和過程控制分析等方面的儀器之一。

　　X射線熒光光譜儀在日常使用中的注意事項：

　　1、從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進行標定和校準。

　　2、為確保有害元素含量的控制效果，測量數據應與其他的測量手段結合起來使用；更適合生產過程的監控，甚至可以說：在生產過程中對有害元素含量的監控，而有害元素含量的終裁定，則不應該僅僅依靠單一的測量手段。

　　3、被測量樣品的處理與測量精度的關系：

　　從理論上說，對被測量樣品進行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結果越可靠。在實際使用過程中，我們應該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理。

　　在測量不規則的樣品時，雖然分析方法上可以對測量進行技術上的校正，從而滿足實際測量的需要；但這樣做所付出的代價是犧牲測量精度和測量數據的可靠性。

　　X射線熒光光譜儀各個重要部分的維護和保養

　　(1)高壓X射線光管是要點部件。高壓發生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分能量用于產生X射線外，大部分能量轉化為熱能，由內部水循環冷卻系統帶走。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過30℃，超過35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水(必須確保該冷卻水的電導率<2μs/cm)，以防高壓擊穿導致x射線光管損壞。冷卻水箱內放置離子交換樹脂，內部循環水通過儀器內部的去離子樹脂降低電導率。樹脂會年久失效，因此當高壓發生器無法啟動時，可檢查一下內部循環水的電導率，如果電導率降不下來(電導率>2μs/cm時)，就必須將舊的離子交換樹脂取出，裝入合乎要求的新離子交換樹脂。另外，內部循環水的水位過低，也會導致高壓發生器開不起來。

　　(2)X射線管的窗口是厚度為75μm的鈹(為了提高透射率)，容易破碎，一定要避免碰撞，有時管窗的金屬鈹表面會被氧化，而氧化后生成的氧化鈹有毒，所以使用時要特別小心。正常情況下應該是鈹窗表面有些內凹，若它的表面成了平面，則可能是內真空已經被破壞了。鈹窗沾污時可用毛刷輕輕拂去，或者用二甲苯小心拭去。

　　(3)X射線管閑置一段時間后，其內部的真空度會有所降低，如果不是緩慢的而是直接升到較高的KV-mA值會產生高壓放電，嚴重時會導致X射線管損壞。因此，閑置一段時間后*開機，很重要的一點就是：慢加管壓和管流(一定要緩慢交替升高電壓、電流，每次間隔5min)，緩慢交替下降管壓和管流。另外，只要能夠滿足測量精度，盡量不要讓X光管滿功率運轉。X射線管高功率運行過后，一定要讓儀器在X光管不工作的情況下，讓冷卻系統再運轉一會，然后再關機。此外，在假期期間，如果長時間關機的話再次開機也容易造成光管壞損，所以建議長假期間不要讓儀器太長時間停止工作。

　　(4)與X光管緊密聯系的是高壓電源，在很多情況下，X光管和高壓電源的故障是緊密相連的，甚至有時候很難分辨清楚。而且，高壓電源的性能指標在很大程度上決定著X光管系統的性能指標。XRF儀器對X光管高壓電源穩定性的要求很高，不要使用日常測量時的加電程序，而采用手動加電的方式，這樣可以延長一些X光管的壽命。